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RHESCA CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀

基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn)，以MICRO SCRATCH法評(píng)價(jià)光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強(qiáng)度）的超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀。為成膜研究與測(cè)試所必備的測(cè)試設(shè)備。

CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀特點(diǎn)：

1.CSR-5000采用高感度的能夠檢測(cè)出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測(cè)試納米***別的薄膜的附著強(qiáng)度。

2.可測(cè)量膜厚μm以下的超薄膜的密著強(qiáng)度。

3.加熱環(huán)境下評(píng)價(jià)可能。

4.鏡片等曲面測(cè)量可能。

5.可以進(jìn)行以特定荷重來(lái)評(píng)價(jià)的特定負(fù)荷測(cè)試

6.測(cè)試部位的設(shè)定以及測(cè)試后的劃傷觀察等簡(jiǎn)單易行

7.測(cè)試不需要花費(fèi)很多時(shí)間(1次測(cè)試約1～2分鐘)

RHESCA超薄膜附著強(qiáng)度測(cè)試儀CSR-5000規(guī)格

荷重印加范圍：1mN ～1500mN

荷重分解能：0.3mN

允許過(guò)負(fù)荷：300%FS

剝離檢出（垂直方向）檢出信號(hào)，加速度信號(hào)

頻率范圍：20Hz ～10kHz

摩擦力檢出（水平方向）檢出信號(hào)，速度信號(hào)

頻率范圍：20Hz ～10kHz

傳感器勵(lì)振機(jī)構(gòu)勵(lì)振頻率：45Hz

勵(lì)振振幅：0·5·10·20·40·50·80·100μm

探針 觸針形狀：1.6×6.5mm

尖端材質(zhì) / 尖端形狀金剛石R 5?10?15?25?50?100μm

尖端材質(zhì) / 尖端形狀藍(lán)寶石R 250?500μm

Z 軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)

驅(qū)動(dòng)范圍：20mm

驅(qū)動(dòng)分解能：0.5μm

驅(qū)動(dòng)速度(測(cè)試時(shí))0 ～20μm/s

驅(qū)動(dòng)速度(準(zhǔn)備時(shí))1mm/s

試料臺(tái)XY軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)方式:千分尺手動(dòng)調(diào)節(jié)

移動(dòng)范圍:±6.5mm

Data輸出方式:USB

尺寸及重量:W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡

電源:AC100V ～240V

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